創形創質工学部会　数理モデリングフォーラム　平成20年度　講演討論会 「MEMSシミュレーション」および京都大学小寺研究室 見学会

MEMSはMicro Electro Mechanical Systemsの略であり、半導体製造技術を応用してマイクロ電気機械システムを作るものです。加速度、圧力などの各種センサー、光スイッチ、ミラーなどの微小なデバイスが製造されています。MEMS製造技術では独自の加工技術を多用しているため、設計の中に製造プロセスやパッケージング技術も含まれてしまい、複雑な製造プロセスをシミュレーションによって設計することが望まれています。また、デバイスの性能をあらかじめ解析することで、構造や寸法を最適化することが製品開発においては重要となっています。ここでは、MEMS設計シミュレーションの基礎から、設計・解析ツールの最前線までを紹介します。なお、講演会に先立ち、京都大学小寺研究室の見学会を行います。多数の参加をお待ちしています。 　 １．日　時： 2008年10月31日(金)　10：30～16：50 ２．会　場： 京都大学百周年時計台記念館国際交流ホールII 〒606-8501　京都市左京区吉田本町 Tel：075-753-2286　Fax：075-753-2107 地図：http://www.kyoto-u.ac.jp/ja/clocktower/ ３．交　通： JR京都駅下車、地下鉄烏丸線今出川駅下車 市バス201系統百万遍下車 ４．共　催： 日本塑性加工学会プロセッシング計算力学分科会 ５．プログラム： ◇研究室見学会 　10：30～12：00 小寺研究室MEMS関連設備の見学 　微細加工装置や評価装置、また細胞等バイオ関連実験装置 津守不二夫(京大) ◇講演会：　司会：清水　透(産総研) 　13：00～13：05 開会の挨拶 森謙一郎(豊橋技科大) 　13：05～13：35 MEMSシミュレーションの現状と課題 小寺秀俊(京大) 　13：35～14：15 MEMS-ONEによるシミュレーションとその解析事例 小寺秀俊(京大) 　14：15～14：55 細胞機能解析用MEMSデバイスの設計支援シミュレーション 柴田隆行 (豊橋技科大) 　14：55～15：05 休憩 　 　15：05～15：45 CoventorWareによる最新のMEMS設計解析環境とその事例 宮下進太郎(丸紅情報システムズ) 　15：45～16：25 IntelliSenseのMEMS設計・解析ツールとその設計事例 平出隆一(アドバンスドテクノロジー) 　16：25～16：50 総合討論 司会：清水　透(産総研) ６.定　員： 60名 ７.参加費： プロセッシング計算力学分科会委員および日本鉄鋼協会正会員は無料、塑性加工学会正会員および賛助会員5,000円、その他8,000円。（ただし学生会員は半額） ８.申込方法： 「平成20年度講演討論会　申込み」と題記し、（a）氏名、（b）勤務先・所属部課名・役職、（c）連絡先（住所・電話・Fax・E-mail）、（d）会員資格（日本鉄鋼協会正会員、日本塑性加工学会正会員・賛助会員・学生会員の別、所属フォーラム・分科会）、（e）支払方法、（f）振込予定日（銀行振込の場合）を明記の上、E-mailにてお申し込み下さい。 ９.振込先： 三井住友銀行　豊橋支店　普通預金 3452682 プロセッシング計算力学分科会 １０.申込期限： 2008年10月17日（金）（定員になり次第締切ります） 申込先： 　　〒441-8580愛知県豊橋市天伯町雲雀ヶ丘1-1 　　豊橋技術科学大学 生産システム工学系 　　プロセッシング計算力学分科会事務局　森謙一郎 　　E-mail：compmech@plast.pse.tut.ac.jp 　　Tel：0532-44-6707　Fax：0532-44-6690